特許
J-GLOBAL ID：200903060432583749

画像形成材及びそれを用いた画像形成方法

発明者：
瑞穂 右二

瑞穂 右二 について

, 
水上 潤二

水上 潤二 について

, 
亀山 泰弘

亀山 泰弘 について


出願人/特許権者：
三菱化学株式会社

三菱化学株式会社 について


代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-366049
公開番号（公開出願番号）：特開2005-128412
出願日： 2003年10月27日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：
【課題】 本発明の画像形成材により、高圧水銀灯類及び波長390〜430nmの光源を用いた露光方法の両方に適した画像形成材料を提供する。【解決手段】 被加工基板上に少なくとも感光性樹脂組成物層を有する画像形成材であって、下記の(1)〜(4)を満たすことを特徴とする画像形成材 (1)高圧水銀灯類及び波長390〜430nmの光源のいずれを用いた露光方法によっても 画像形成が可能であること (2)高圧水銀灯類を用いた露光方法における感度S[UV]が、2〜200mJ/cm2であるこ と (3)波長390〜430nmの光源を用いた露光方法における感度S[Violet]が、2〜30mJ /cm2であること (4)S[Violet]/S[UV]が、1以下であること、及び/又は、アスペクト比1.1以上の 解像性を有すること。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
被加工基板上に少なくとも感光性樹脂組成物層を有する画像形成材であって、下記の(1)〜(4)を満たすことを特徴とする画像形成材 (1)高圧水銀灯類及び波長390〜430nmの光源のいずれを用いた露光方法によっても
IPC (3件)：
G03F7/26 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027
FI (4件)：
G03F7/26 501 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/004 512 ,  H01L21/30 502R
Fターム (34件)：
2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC51 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025CA14 ,  2H025CA28 ,  2H025CA39 ,  2H025CA41 ,  2H025CA48 ,  2H025CA50 ,  2H025CB52 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096AA27 ,  2H096BA05 ,  2H096BA06 ,  2H096BA11 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096EA04 ,  2H096GA08 ,  2H096LA17
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

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