特許
J-GLOBAL ID：200903060485570363

酸化亜鉛を含有するスパッタリングターゲットの製造方法

発明者：
林 博 光

林 博 光 について

, 
尾 野 直 紀

尾 野 直 紀 について


出願人/特許権者：
三井金属鉱業株式会社

三井金属鉱業株式会社 について


代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-183596
公開番号（公開出願番号）：特開2001-011613
出願日： 1999年06月29日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：
【要約】【課題】 大型サイズの焼結体を作製した場合でも相対密度95%以上の高密度の酸化亜鉛含有スパッタリングターゲットが得られ、しかも色むらの発生が防止され、材質の均一化の点においてもすぐれた酸化亜鉛含有スパッタリングターゲットを製造するための、コストの低減化が図られた方法を提供すること。【解決手段】 酸化亜鉛を含有する原料粉末混合物を成形し、焼結することによって酸化亜鉛を含有するスパッタリングターゲットを製造するに際し、前記原料粉末に色むら防止剤を添加することを特徴とするスパッタリングターゲットの製造方法。
請求項（抜粋）：
酸化亜鉛を含有する原料粉末混合物を成形し、焼結することによって酸化亜鉛を含有するスパッタリングターゲットを製造するに際し、前記原料粉末に色むら防止剤を添加することを特徴とする、スパッタリングターゲットの製造方法。
IPC (2件)：
C23C 14/34 ,  C04B 35/453
FI (2件)：
C23C 14/34 A ,  C04B 35/00 P
Fターム (9件)：
4G030AA14 ,  4G030AA32 ,  4G030BA16 ,  4G030GA23 ,  4K029BA45 ,  4K029BA50 ,  4K029BC09 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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