特許
J-GLOBAL ID:200903060486800036
パネルアライメント装置及び方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
村山 光威
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-328701
公開番号(公開出願番号):特開2004-205530
出願日: 2002年11月12日
公開日(公表日): 2004年07月22日
要約:
【課題】特別なツールを使用せず、通常のパネル生産中に得られる画像入力手段からの情報だけをもとに較正して、高速で動作するパネルアライメント装置及び方法を提供する。【解決手段】パネルのマーク間距離の寸法ばらつき、及び基準側パネルの水平線方向とXYθ調整手段10のX軸との角度ずれが充分小さく、かつ複数台の画像入力手段5のXY軸の角度ずれが小さい条件下において、図面寸法値入力手段11からの情報をもとにアライメント量計算手段12において、近似を行うことにより画像入力手段の視野位置を較正することなくアライメント量を計算可能とし、較正を行うための作業に多大な労力を必要とせず、合わせて検査精度を向上でき、高速で高精度なアライメント調整を可能とした。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
2枚のパネルに付与された各々2個以上のマークを撮像する画像入力手段と、前記画像入力手段からの入力画像を処理して前記マーク位置を特定する認識処理手段と、前記パネルに付与された前記マーク間距離の図面寸法値を入力する図面寸法値入力手段と、前記認識処理手段により取得したマーク位置データと前記図面寸法値からアライメント量を算出するアライメント量計算手段と、算出された前記アライメント量をもとに3個のモータを制御するモータ制御手段と、前記3個のモータを駆動源とするXYθ調整手段とを備え、
前記アライメント量計算手段が、マーク間距離の寸法ばらつき、及び基準側パネルの水平線方向とXYθ調整手段のX軸の角度ずれが小さく、かつ複数台の画像入力手段のXY軸の角度ずれが小さい条件下において、近似を行うことにより前記画像入力手段の視野位置を較正することなく、アライメント量を計算することを特徴とするパネルアライメント装置。
IPC (3件):
G02F1/13
, G05D3/12
, G09F9/00
FI (3件):
G02F1/13 101
, G05D3/12 L
, G09F9/00 338
Fターム (38件):
2H088FA01
, 2H088FA10
, 2H088FA16
, 2H088FA17
, 2H088FA24
, 2H088FA30
, 2H088MA16
, 2H090JC12
, 2H090JC14
, 2H090JC17
, 2H090JC18
, 2H090LA05
, 2H090MB01
, 5F031CA05
, 5F031JA04
, 5F031JA14
, 5F031JA19
, 5F031JA22
, 5F031JA28
, 5F031JA29
, 5F031JA38
, 5F031KA06
, 5F031KA08
, 5G435AA17
, 5G435BB06
, 5G435BB12
, 5G435KK05
, 5G435KK10
, 5H303AA05
, 5H303AA26
, 5H303BB02
, 5H303BB14
, 5H303CC01
, 5H303DD01
, 5H303EE04
, 5H303FF13
, 5H303GG14
, 5H303MM05
引用特許:
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