赤外線ガス分析計

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：篠部正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-042713
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239235
出願日： 1997年02月26日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：

【要約】【課題】小形で、低濃度の被分析成分ガスを検出・分析することができ、防爆環境にも対応できる赤外線ガス分析計を提供する。【解決手段】高温で使用できるセラミックス発光体からなる赤外線光源30の発光体部31の囲んで円筒の一部が除去された筒状の回転チョッパ20が配置され、ここから放射される断続赤外線光束が集光光学系の筐体34に接着された凹面集光鏡33で反射集光されてホワイトセル70の入射窓71に入射像を結ぶ。ホワイトセル70への入射赤外線光束はホワイトセル70内で多重反射して必要な光路長を透過した後で検出器60へ出射され、検出器60がホワイトセル70内で赤外線の吸収量を検出して被測定ガス中の被分析成分ガスの濃度を測定する。集光光学系とホワイトセル70と検出器60とは結合部で正確に位置決めされて緊密にかつ流通自在な空気層を介さずに結合されており、小形化と均温化と高感度化が実現されている。

請求項（抜粋）：

赤外線を放射する赤外線光源と、放射された赤外線光束をチョッピングする赤外線光束断続手段と、放射された赤外線光束の内の所定の立体角分を取り出して集光光束を形成するための集光光学系と、この集光光学系の出口に配置されて集光光束が入射され、かつ被測定ガスが導通され、かつ3つの凹面鏡から構成された多重反射光学系を内蔵する多重反射セルと、多重反射セルの赤外線出射部に配置され多重反射セルから出射された赤外線の中に含まれる被分析成分ガスが吸収する波長帯の赤外線量を検出する赤外線量検出手段とを備えている赤外線ガス分析計において、少なくとも集光光学系と多重反射セルと赤外線量検出手段とが、集光光学系の集束光束の出射位置を基準として正確に位置決めされ、結合部において緊密にかつ流通自在な空気層を介さずに結合されていることを特徴とする赤外線ガス分析計。

IPC (2件)：

G01N 21/35 , G01N 21/61

FI (2件)：

G01N 21/35 Z , G01N 21/61

引用特許：

審査官引用 (12件)

ガス濃度測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-055453 出願人：アンリツ株式会社, 東京瓦斯株式会社
特開昭53-098889
多重反射形試料セル
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-200149 出願人：富士電機株式会社

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