特許
J-GLOBAL ID：200903060518283950
大面積ステージを備えた2軸アクチュエータ
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-242285
公開番号（公開出願番号）：特開2005-073493
出願日： 2004年08月23日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：
【課題】 大面積ステージを備えた2軸アクチュエータを提供する。【解決手段】 基板上に固定されたほぼ四角形の辺を有するアンカ部と、前記アンカ部内の両側で前記基板から離隔され、互いに対面する第1方向に駆動される第1駆動部と、前記第1駆動部間で両側で互いに対面する方向に駆動される第2駆動部と、前記第2駆動部の上部に配されて前記第2方向に駆動される四角形のステージと、前記ステージおよび前記アンカ部から所定距離離隔され、前記各第1駆動部の上部の両側で互いに対面するように延びて一体に形成された第3駆動部と、前記第1駆動部が前記アンカ部の内面に支持された第1方向変形スプリング部と、前記第2駆動部が前記第3駆動部の内面に支持されるように形成された第2方向変形スプリング部とを備える2軸アクチュエータ。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
基板と、
前記基板に固定されたほぼ矩形の第1方向辺と第2方向辺とそれぞれ1対有し、対面する1対の第1方向辺のそれぞれは複数の分離された部分を有するアンカ部と、
前記第1方向辺に垂直の第2方向辺に隣接した各領域に形成され、それぞれ第1方向に駆動される第1駆動部と、
前記基板から上方に所定距離離隔されて設けられ、前記各第1駆動部の間で前記第2方向辺に隣接した各領域で第2方向に駆動される第2駆動部と、
前記第2駆動部の上部に配置されて前記第2方向に駆動される四角形のステージと、
前記ステージおよび前記アンカ部から所定距離離隔され、前記各第1駆動部の上部の対面する両側から互いに延びて一体に形成され、前記第1駆動部の前記第1方向への駆動によって前記ステージを前記第1方向に駆動させる第3駆動部と、
前記第1駆動部が前記アンカ部の内面に支持されて前記第1駆動部が前記第1方向への移動が可能なように形成された第1方向変形スプリング部と、
前記第2駆動部が前記第3駆動部の内面に支持されて前記第2駆動部が前記第2方向への移動が可能なように形成された第2方向変形スプリング部とを備えることを特徴とする2軸アクチュエータ。
IPC (3件)：
H02N1/00
, G01N13/10
, G12B21/20
H02N1/00
, G01N13/10 C
, G01N13/10 G
, G12B1/00 601G
出願人引用 (5件)
-
米国特許第5,536,988号明細書
-
米国特許第6,445,107号明細書
-
マイクロアクチュエータとその製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-142459
出願人：日本電気株式会社
全件表示
審査官引用 (3件)
前のページに戻る
