特許
J-GLOBAL ID：200903027563910748
マイクロアクチュエータとその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
畑 泰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-142459
公開番号（公開出願番号）：特開平11-341835
出願日： 1998年05月25日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：
【要約】【課題】 応答特性が早く、垂直変動が少ない高性能特性をもつプラットフォームを搭載したマイクロアクチュエータを提供する。【解決手段】 可動子と絶縁体材料からなるプラットフォーム6とバンプ5を介して張り合わせたことを特長とする。
請求項（抜粋）：
固定子電極を含む固定子と可動子電極を含む可動子とを備えた半導体材料からなるマイクロアクチュエータにおいて、前記可動子の上面にバンプを介して絶縁体材料からなるプラットフォームが設けられていることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H02N 1/00
, H01L 21/302 Z
