特許
J-GLOBAL ID:200903060554264202
インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
渡辺 望稔
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-359359
公開番号(公開出願番号):特開2002-160363
出願日: 2000年11月27日
公開日(公表日): 2002年06月04日
要約:
【要約】【課題】静電力を利用したインクジェットヘッドであって、スティッキングが発生せず、半導体プロセスで容易に作成することのできるインクジェットヘッド、さらには、電気的短絡を防止するインクジェットヘッドを提供し、このインクジェットヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】アクチェータの可動電極と固定電極の少なくとも一方に、他方の電極と対向する対向面を先端に有する突起であって、前記対向面の形状を包含する最小円の直径に対する突起の高さの比が0.1以下である絶縁性微小突起を設ける。さらに、この絶縁性微小突起を、絶縁性微小突起を形成する絶縁性薄膜層をエッチングすることによって作成する。
請求項(抜粋):
インク吐出ノズルと、このインク吐出ノズルに連通するインク液室と、このインク液室の一面を形成する振動板と、この振動板に設けられた可動電極と、前記インク液室外に前記可動電極に微小間隔離れて平行に配置された固定電極とを有し、前記可動電極と前記固定電極の間に電圧を印加して前記振動板を振動させることによって前記インク液室からインクを吐出させるインクジェットヘッドであって、前記可動電極と前記固定電極の少なくとも一方に、他方の電極と対向する対向面を先端に有する突起であって、前記対向面の形状を包含する最小円の直径に対する突起の高さの比が0.1以下である絶縁性微小突起を設けたことを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3件):
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
FI (2件):
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
Fターム (11件):
2C057AF36
, 2C057AF93
, 2C057AG54
, 2C057AP02
, 2C057AP28
, 2C057AP33
, 2C057AP52
, 2C057AQ01
, 2C057AQ02
, 2C057BA03
, 2C057BA15
引用特許:
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