特許
J-GLOBAL ID:200903060619403280

レリーフ表面検査方式

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 山口 巖 ,  駒田 喜英 ,  松崎 清
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-342518
公開番号(公開出願番号):特開2006-153580
出願日: 2004年11月26日
公開日(公表日): 2006年06月15日
要約:
【課題】メダル等の検査精度を大幅に向上させられるようにする。【解決手段】メダル等は凹凸部と濃淡部とを有するので、従来のように斜め方向からの照明のみでは、その特徴を効率よく取り出せないという難点があったが、この発明では、落射照明とドーム型照明と斜光照明とを併用することにより、検査物4に対して様々な角度から光を当てられるようにし、欠陥等を効果的に抽出できるようにする。1は撮像装置としてのカメラ、2はカバー、3はハーフミラーを示す。【選択図】図2
請求項(抜粋):
凹凸と濃淡のある検査対象物のレリーフ表面検査方式において、 前記検査対象物のレリーフ表面を斜光照明手段,ドーム型照明手段および落射照明手段により同時に照明することを特徴とする検査対象物のレリーフ表面検査方式。
IPC (1件):
G01N 21/88
FI (1件):
G01N21/88 Z
Fターム (9件):
2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051BA08 ,  2G051BB01 ,  2G051BB03 ,  2G051BB11 ,  2G051CA04
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 画像信号を用いる検査装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-002364   出願人:富士電機株式会社, 富士ファコム制御株式会社
審査官引用 (5件)
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