特許
J-GLOBAL ID:200903060808694458

画像測定装置及びエッジ追跡測定プログラム生成用プログラム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊丹 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-029576
公開番号(公開出願番号):特開2004-239761
出願日: 2003年02月06日
公開日(公表日): 2004年08月26日
要約:
【課題】エッジ追跡測定のルート上のバリや塵等に影響されず、オペレータが望む方向に追跡測定を実行することができる。【解決手段】ワーク12の画像をCRT上に表示し、このワーク画像内の追跡測定しようとするエッジの始点としての測定開始点Pb、終点としての測定終了点Pe、エッジ性状等の変化する変曲点Cをマウスでクリックすることにより、測定区間を指定する。また、各測定区間のエッジの形状が、直線、円弧、自由曲線のいずれに近似するかを追跡形状として入力させる。各測定区間ごとにこの追跡形状に適合した測定ツール(ボックスツール、円弧ツール、オートトレースツール等)を配置すると共に、この追跡形状に示すルートに沿ってエッジ追跡測定を実行するパートプログラムが生成される。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
追跡測定すべきエッジを含む被測定画像を表示する表示部と、 前記エッジにおける前記追跡測定の開始点と終了点の間を分割する複数の測定区間を前記被測定画像上で指定するための測定区間指定手段と、 前記測定区間指定手段により指定された各測定区間に対して追跡形状を指定するための追跡形状指定手段と、 前記追跡形状指定手段により指定された追跡形状に基づいて前記各測定区間で追跡測定に使用されるエッジ形状測定用の測定ツールを決定する測定ツール決定手段と、 各測定区間毎に前記測定ツール決定手段で決定された前記測定ツールが前記追跡形状に沿ってエッジ追跡測定を行い、これにより前記追跡測定の開始点から終了点までエッジ追跡測定を行うプログラムを生成するエッジ追跡測定プログラム生成手段とを備えたことを特徴とする画像測定装置。
IPC (2件):
G01B11/00 ,  G01B11/24
FI (2件):
G01B11/00 H ,  G01B11/24 K
Fターム (19件):
2F065AA12 ,  2F065AA54 ,  2F065BB05 ,  2F065CC10 ,  2F065DD11 ,  2F065FF04 ,  2F065FF26 ,  2F065FF28 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065RR05 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13
引用特許:
審査官引用 (4件)
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