球状波面を使用した複雑な表面形状の測定

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：恩田博宣 , 恩田誠
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-536683
公開番号（公開出願番号）：特表2005-505771
出願日： 2002年09月13日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：

局部球面測定波面(例えば、球面波面および非球面波面)を使用して、円錐表面(および他の複雑表面形状)を干渉法を使用して特性化することが可能である。詳細には、複雑表面形状は、測定点基準に対して測定される。これは、測定波面と基準波面の間に一定の光路長差(例えばゼロOPD)を生成するべく測定波面を反射する理論試験表面に対応する仮想表面(152)の曲率半径を変化させることによって達成される。

請求項（抜粋）：

干渉利用測定法であって、測定波面を測定表面から反射させるために導き、基準波面を基準表面から反射させるために導く工程であって、測定波面と基準波面とは共通光源から引き出されることと、互いに重畳させ、かつ、干渉パターンを形成するべく、反射した該測定波面および基準波面を導く工程であって、該測定波面および基準波面の光路が、該測定波面と基準波面の間に一定の光路長差を生成すべく、該測定波面を反射する理論試験表面に対応する光学測定表面を形成することと、該測定表面の円錐部分に接触させるべく、該光学測定表面の局部球面部分の曲率半径を変化させる工程と、該曲率半径を関数とした該干渉パターンを検出する工程と、からなる方法。

IPC (2件)：

G01B9/02 , G01B11/24

FI (2件)：

G01B9/02 , G01B11/24 D

Fターム (38件)：

2F064AA09 , 2F064EE02 , 2F064EE05 , 2F064FF03 , 2F064FF07 , 2F064GG22 , 2F064GG51 , 2F064GG61 , 2F064HH03 , 2F064HH08 , 2F064JJ01 , 2F064KK04 , 2F065AA53 , 2F065BB05 , 2F065FF51 , 2F065FF52 , 2F065FF53 , 2F065GG01 , 2F065GG07 , 2F065GG24 , 2F065HH03 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL46 , 2F065LL65 , 2F065MM16 , 2F065MM26 , 2F065MM28 , 2F065NN05 , 2F065PP22 , 2F065QQ00 , 2F065QQ21 , 2F065SS13 , 2F065UU05 , 2F065UU07

引用特許：

審査官引用 (6件)

形状測定装置および測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-260698 出願人：株式会社ニコン
特開平3-243804
透過波面測定用干渉計
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-262381 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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