特許
J-GLOBAL ID：200903060838951587

はんだボールの整列方法および整列用マスク並びに整列用マスクの保持装置

発明者：
小黒 孝夫

小黒 孝夫 について

, 
山口 剛

山口 剛 について


出願人/特許権者：
日立ビアメカニクス株式会社

日立ビアメカニクス株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-186236
公開番号（公開出願番号）：特開2000-022035
出願日： 1998年07月01日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：
【要約】【課題】 作業が容易で、1度に2〜3万個のはんだボールを整列させることができ、例えば8インチのウエハであっても全領域を1回の作業ではんだボールを整列させることができるはんだボールの整列方法およびはんだボールの整列用マスクの保持装置を提供すること。【解決手段】 穴4aの数よりも多いはんだボール6をマスク4に供給し、マスク4とワーク2との距離を保った状態で両者を傾けて、穴4aの数より多い余剰のはんだボール6をマスク4上から除去した後、マスク4をワーク2から遠ざける。マスク4をワーク2から遠ざける前に、両者を相反する方向に傾け、はんだボール6をマスク4全体に転動させると、はんだボール6を穴4aに確実に位置決めできる。
請求項（抜粋）：
はんだボールの径より大径の穴を備えたマスクを、予め表面にフラックスが塗布されたワークの表面に対して上下および水平方向に位置決めし、はんだボールを前記マスクの前記ワークの表面に対向しない側から前記穴に供給し、前記はんだボールを前記ワークの表面に配置されたパッド位置に位置決めするようにしたはんだボールの整列方法において、前記穴の数よりも多い前記はんだボールを前記マスクに供給し、前記マスクとワークとの距離を保った状態で両者を傾けることにより、前記穴の数より多い余剰の前記はんだボールを前記マスク上から除去した後、前記マスクを前記ワークから遠ざけることを特徴とするはんだボールの整列方法。
IPC (6件)：
H01L 23/12 ,  B23K 3/06 ,  H01L 21/52 ,  H01L 21/60 311 ,  H01L 21/60 ,  H05K 3/34 505
FI (7件)：
H01L 23/12 L ,  B23K 3/06 H ,  H01L 21/52 G ,  H01L 21/60 311 S ,  H05K 3/34 505 A ,  H01L 21/92 604 H ,  H01L 21/92 604 Z
Fターム (10件)：
4M105AA01 ,  4M105AA16 ,  4M105AA21 ,  4M105FF04 ,  5E319BB04 ,  5E319CD25 ,  5E319CD26 ,  5F047BA01 ,  5F047BB04 ,  5F047FA21
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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