特許

J-GLOBAL ID：200903060912204764

導電性スピンチャック

発明者： 尾崎 雅一 ,  上野 洋司 ,  松橋 出
出願人/特許権者： ニチアス株式会社
代理人 (1件)： 赤塚 賢次 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-053715
公開番号（公開出願番号）：特開2001-244318
出願日： 2000年02月29日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：

【要約】【課題】 表面固有抵抗値が106 〜1010Ωで、導電性の制御が容易であり、且つ、薄肉化に対応しうる曲げ強度や曲げ弾性率等の剛性の高い導電性スピンチャックを提供すること。【解決手段】 本発明に係る導電性スピンチャックは、ポリエーテルエーテルケトン樹脂60〜90重量%と、体積固有抵抗値100 Ωcm以上の導電性カーボンファイバー10〜40重量%とからなり、引張強度200MPa 以上、曲げ強度300MPa 以上、曲げ弾性率18GPa 以上、且つ、表面固有抵抗値が106 〜1010Ωである。

請求項（抜粋）：

ポリエーテルエーテルケトン樹脂60〜90重量%と、体積固有抵抗値100 Ωcm以上の導電性カーボンファイバー10〜40重量%とからなり、引張強度200MPa 以上、曲げ強度300MPa 以上、曲げ弾性率18GPa 以上、且つ、表面固有抵抗値が106 〜1010Ωであることを特徴とする導電性スピンチャック。

IPC (6件)：

H01L 21/68 ,  C08K 3/04 ,  C08K 7/06 ,  C08L 71/02 ,  H01B 1/24 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

H01L 21/68 P ,  C08K 3/04 ,  C08K 7/06 ,  C08L 71/02 ,  H01B 1/24 Z ,  H01L 21/30 503 C

Fターム (18件)：

4J002CH091 ,  4J002DA036 ,  4J002FA046 ,  4J002FD116 ,  4J002GQ02 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA13 ,  5F031MA23 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031PA21 ,  5F031PA26 ,  5F046AA28 ,  5F046CC08 ,  5G301DA20 ,  5G301DA42 ,  5G301DD05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 物品取扱部材およびその製造方法および収納容器ならびに物品取扱装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-094040   出願人：株式会社日立製作所, 積水化学工業株式会社
• ポリエーテルケトン樹脂組成物および半導体ウエハ加工・処理用キャリア
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-322756   出願人：住友化学工業株式会社
• 帯電防止ウエハキャリア
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-184564   出願人：三井東圧化学株式会社