特許
J-GLOBAL ID：200903060974753748

位置検出装置および像検出装置

発明者：
三島 和彦

三島 和彦 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-044497
公開番号（公開出願番号）：特開2001-237160
出願日： 2000年02月22日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：
【要約】【課題】 構造を単純化し、且つより高精度な焦点位置の検出を可能にする。【解決手段】 光源413側に開口部を有し、該開口部の一部となる第1開口部450を通過した光を物体としてのウエハ6面上に斜め方向から照射且つ該第1開口部450をウエハ6上に略結像する照明光学系と、ウエハ6の面上からの反射光束を受光して該第1開口部像の位置変化を検出する検出手段としての光電変換素子419とを備え、開口部の第1開口部450以外である第2開口部417を通過した光を該照明光学系内に設けた反射部材422により、ウエハ6側に導光する事無く、光電変換素子419に導光し、光電変換素子419で得られた第1開口部像位置と第2開口部像位置との情報に基づき、ウエハ6面の焦点位置を検出する。
請求項（抜粋）：
物体の位置を検出する位置検出装置に於いて、光源手段側に開口部を有し、該開口部の一部となる第1開口部を通過した光を前記物体面上に斜め方向から照射且つ該第1開口部を該物体上に略結像する照明光学系と、該物体面上からの反射光束を受光して該第1開口部像の位置変化を検出する検出手段とを備え、該開口部の該第1開口部以外である第2開口部を通過した光を該照明光学系内に設けた反射部材により、該物体側に導光する事無く、該検出手段に導光し、該検出手段で得られた該第1開口部像位置と該第2開口部像位置との情報に基づいて、該物体面の焦点位置を検出する事を特徴とする位置検出装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G02B 7/28
FI (4件)：
H01L 21/30 526 B ,  G02B 7/11 Z ,  G02B 7/11 M ,  G02B 7/11 J
Fターム (17件)：
2H051AA10 ,  2H051AA11 ,  2H051BA47 ,  2H051BA70 ,  2H051BA72 ,  2H051CB05 ,  2H051CB11 ,  2H051CB14 ,  2H051CC03 ,  2H051CC04 ,  2H051CE14 ,  5F046ED02 ,  5F046FA09 ,  5F046FA20 ,  5F046FB10 ,  5F046FB12 ,  5F046FB16
引用特許：
審査官引用 (4件)
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