X線発生装置及びこれを備えた投影露光装置及び露光方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-231394
公開番号（公開出願番号）：特開2001-057298
出願日： 1999年08月18日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
要約：

【要約】【課題】飛散粒子の影響を防止したX線発生装置を得る。【解決手段】本発明のX線発生装置は、プラズマから発生したX線が入射するX線反射光学素子を有するX線発生装置において、前記X線反射光学素子への入射光及び/又は前記X線反射光学素子からの反射光の光路上の該各光路が形成する面に対して平行又は略平行な位置に飛散粒子部材を有する。

請求項（抜粋）：

プラズマから発生したX線が入射するX線反射光学素子を有するX線発生装置において、前記X線反射光学素子への入射光及び/又は前記X線反射光学素子からの反射光の光路上の該各光路が形成する面に対して平行又は略平行な位置に飛散粒子部材を有することを特徴とするX線発生装置。

Fターム (3件)：

4C092AA06 , 4C092AB21 , 4C092AC09

引用特許：

出願人引用 (5件)

レーザプラズマ光源
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-302085 出願人：オリンパス光学工業株式会社
X線発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-305199 出願人：株式会社ニコン
X線発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-127600 出願人：株式会社ニコン

全件表示

審査官引用 (5件)

レーザプラズマ光源
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-302085 出願人：オリンパス光学工業株式会社
X線発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-305199 出願人：株式会社ニコン
X線発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-127600 出願人：株式会社ニコン

全件表示

前のページに戻る