特許
J-GLOBAL ID：200903061099710548

エキシマー紫外線励起蛍光の検出

発明者：
オルストウスキー,フラネック

オルストウスキー,フラネック について


出願人/特許権者：
オルストウスキー,フラネック

オルストウスキー,フラネック について


代理人 (2件)： 柳田 征史 ,  佐久間 剛
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-565616
公開番号（公開出願番号）：特表2007-524801
出願日： 2003年12月19日
公開日（公表日）： 2007年08月30日
要約：
誘電体障壁-放電エキシマーランプ、エキシマーランプに接続するために適用される励起源、二酸化硫黄を含有する試料ガスを有する蛍光チャンバ、蛍光チャンバとともに動作する光電型検出器、及び試料の二酸化硫黄含有量を決定するための信号解析及び調整装置を備えるUV励起蛍光検出システムが提供される。誘電体障壁-放電エキシマーランプはクリプトン-塩素エキシマー充填ガス混合気を有する。励起干渉フィルタ及び蛍光フィルタをランプ及びチャンバとともに用いることができる。別の実施形態において、発明は、特定の波長を有する発光スペクトルを発生するエキシマーガス混合気を励起する工程、この波長を測定対象の特定の化学種に作用させる工程、特定の化学種を励起し、よって励起された化学種に固有の二次蛍光または燐光の発光を誘起する工程、及び被検下にある特定の化学種からのこれらの発光を分析する工程を含む、特定の化学種を検出するための好ましい検出方法である。また別の実施形態において、発明は、エキシマーガス混合気を励起する工程、被検下にある特定の化学種の蛍光発光を強める最適波長を有する発光スペクトルを発生させる工程、最適波長を特定の化学種に作用させる工程、特定の化学種の励起された形態を発生させる工程、特性スペクトルプロファイルを有する発光を、特定の化学種から誘起する工程、及び被検下にある化学種の含有量を評価するために発光を分析する工程を含む、特定の化学種を検出するための好ましいUV励起蛍光検出方法である。
請求項（抜粋）：
試料の二酸化硫黄含有量を決定するためのUV(紫外線)励起蛍光の検出システムにおいて、 (a) クリプトン-塩素エキシマーガス混合気を内部に有する石英外囲器、 (b) 前記石英外囲器を含む励起源、 (c) 二酸化硫黄を含有するガス試料を収容するための、励起干渉フィルタ及び蛍光発光フィルタを有する蛍光チャンバであって、前記励起干渉フィルタを介して前記励起源が前記蛍光チャンバと通じている蛍光チャンバ、 (d) 前記蛍光チャンバの前記蛍光フィルタとともに動作する光電型検出器、及び (e) 前記蛍光チャンバ内の前記試料の前記二酸化硫黄含有量を決定するための前記光電型検出器と通じる装置、 を備えることを特徴とするUV励起蛍光の検出システム。
IPC (1件)：
G01N 21/64
FI (1件)：
G01N21/64 Z
Fターム (13件)：
2G043AA01 ,  2G043BA11 ,  2G043CA01 ,  2G043CA02 ,  2G043EA01 ,  2G043GA07 ,  2G043GB21 ,  2G043HA01 ,  2G043JA03 ,  2G043KA03 ,  2G043KA05 ,  2G043LA01 ,  2G043MA01
引用特許：
審査官引用 (6件)
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