特許
J-GLOBAL ID：200903061161563174

カラーフィルタの色むら検査装置

発明者：
四宮 由隆

四宮 由隆 について


出願人/特許権者：
住友化学工業株式会社

住友化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 深井 敏和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-185945
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019125
出願日： 1998年07月01日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：
【要約】【課題】カラーフィルタとマスク基板との位置合わせが容易になり、検査の作業性および効率を向上させることができるカラーフィルタの色むら検査装置を提供することである。【解決手段】検査台1の光照射面2に固定されたマスク基板3上に重ね合わされたカラーフィルタ4を保持部7にて上から押圧して固定保持すると共に、この保持部7が先端に取り付けられたアーム8の後端に位置合わせ手段9を設けて、カラーフィルタのマスク基板に対する位置合わせを行う検査装置であって、前記位置合わせ手段9が、縦方向および横方向にカラーフィルタ4をそれぞれ移動させるスライド調整部と、マスク基板に対するカラーフィルタ4の載置角度を調整する角度調整部とを有する。
請求項（抜粋）：
内部に光源が内蔵され上面が光照射面となった検査台と、この検査台の上面に載置されたマスク基板を固定するためのマスク基板固定手段と、マスク基板上に重ね合わされたカラーフィルタを上から押圧してカラーフィルタを固定保持するためのカラーフィルタ保持部と、該保持部が先端に取り付けられたアームと、このアームの後端が取り付けられアームを介して前記カラーフィルタのマスク基板に対する位置合わせを行ってマスク基板に形成された光透過部とカラーフィルタ内の所定色部分とを一致させるための位置合わせ手段とを備え、前記位置合わせ手段が、マスク基板の縦方向および横方向にカラーフィルタをそれぞれ移動させるスライド調整部と、マスク基板に対するカラーフィルタの載置角度を調整する角度調整部とを有することを特徴とする、カラーフィルタの色むら検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/88 ,  G02B 5/20 101
FI (2件)：
G01N 21/88 Z ,  G02B 5/20 101
Fターム (12件)：
2G051AA73 ,  2G051AB20 ,  2G051AC02 ,  2G051AC11 ,  2G051AC22 ,  2G051BA00 ,  2G051CA11 ,  2G051CB02 ,  2G051DA07 ,  2H048BA11 ,  2H048BB08 ,  2H048BB42
引用特許：
審査官引用 (3件)

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