特許
J-GLOBAL ID:200903085079084426

カラーフィルタの検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 米田 潤三 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-130800
公開番号(公開出願番号):特開平9-292308
出願日: 1996年04月26日
公開日(公表日): 1997年11月11日
要約:
【要約】【課題】 基板上に複数面付けでカラーフィルタ層を有する大面積のカラーフィルタの欠陥検査を高い信頼性で行うことができるカラーフィルタの検査装置を提供する。【解決手段】 マスク板と、このマスク板の裏面側に配設された平面光源と、上記マスク板を介して平面光源と対向するように配設された検出カメラとを備え、マスク板は、基板上に複数面付けでカラーフィルタ層を有するカラーフィルタの多面付板の各カラーフィルタ層の面付け領域に対応した複数の開口部を有するとともに、少なくとも裏面側において波長550nmの光に対する反射率が50%以下であるマスク板とする。
請求項(抜粋):
基板上に複数面付けでカラーフィルタ層を有するカラーフィルタの多面付板の各カラーフィルタ層の面付け領域に対応した複数の開口部を有するとともに、少なくとも裏面側において波長550nmの光に対する反射率が50%以下であるマスク板と、該マスク板の裏面側に配設された平面光源と、前記マスク板を介して前記平面光源と対向するように配設された検出カメラと、を備えることを特徴とするカラーフィルタの検査装置。
IPC (2件):
G01M 11/00 ,  G01N 21/88
FI (2件):
G01M 11/00 T ,  G01N 21/88 Z
引用特許:
審査官引用 (4件)
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