誘導結合プラズマ装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-322496
公開番号（公開出願番号）：特開平10-162993
出願日： 1996年12月03日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】容易にプラズマが点火され、再現性よく安定して運転できる装置を得る。【解決手段】電気絶縁管1の内部にガスを導入し、外側に巻装した高周波誘導コイル2に高周波電流を通電してプラズマ炎5を形成して用いる装置において、レンズ6、集光部7、分光器9、検出器10よりなる検出手段を備えてプラズマ炎5の状態を検出し、この検出信号を制御装置11にフィードバックして、シーケンスプログラムに従って、マスフローコントローラ12A,12B,12Xと高周波電源3を制御し、導入するガスの供給流量と高周波電流を調整して、プラズマを点火し、保持する。

請求項（抜粋）：

高周波誘導コイルを巻装した電気絶縁管の内部にプラズマガスを導入し、高周波誘導コイルに高周波電流を流して前記ガスをプラズマ化して用いる誘導結合プラズマ装置において、シーケンスプログラムに従ってプラズマガスの供給流量と高周波電流を制御する制御装置を備えたことを特徴とする誘導結合プラズマ装置。

IPC (3件)：

H05H 1/46 , C23C 16/50 , H05H 1/30

FI (3件)：

H05H 1/46 L , C23C 16/50 , H05H 1/30

引用特許：

審査官引用 (8件)

熱プラズマ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-246031 出願人：日本電子株式会社
特開平4-065096
特開平4-065096

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