容器の洗浄方法及び洗浄装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-125821
公開番号（公開出願番号）：特開平7-308567
出願日： 1994年05月16日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：

【要約】【目的】容器内表面等に付着した有機物を短時間で洗浄することの出来る紫外線/オゾン洗浄方法および洗浄装置を提供する。【構成】容器2内を真空排気8して、該容器2の内表面3に紫外線12を照射すると共にオゾンを含む洗浄用ガス19を流し、又は紫外線により清浄空気22からオゾンを生成して前記容器内表面3に付着した付着物を取り除く。

請求項（抜粋）：

容器内を真空排気して、該容器内表面に紫外線を照射すると共にオゾンを含む洗浄用ガスを流し、又は清浄空気を流し前記紫外線により清浄空気からオゾンを生成して前記容器内表面に付着した付着物を取り除くことを特徴とする容器の洗浄方法。

IPC (6件)：

B01J 3/00 , B01J 19/12 , B08B 7/00 , B08B 9/03 , B08B 9/06 , B08B 9/08

引用特許：

出願人引用 (5件)

真空保管庫
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-237829 出願人：株式会社荏原製作所
特開平3-077348
特開平4-032560

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