微粒子計測装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-103770
公開番号（公開出願番号）：特開平10-300671
出願日： 1997年04月22日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：

【要約】【課題】装置の小型化,低価格化をはかった微粒子計測装置を提供する。【解決手段】セル内に微粒子を導入する手段と、セル内の微粒子にレーザ光を照射する手段と、レーザ光の照射により発光する微粒子の原子発光を伝送する伝送手段と、伝送手段により伝送された光を分光する分光手段と、分光された光を受光する光検出器アレイと、を有しレーザ光を微粒子の発光波長外の波長とするとともに、前記光伝送手段の前段にレーザ光の波長の侵入を阻止するフィルターを設けている。

請求項（抜粋）：

セル内に微粒子を導入する手段と、セル内の微粒子にレーザ光を照射する手段と、レーザ光の照射により発光する微粒子の光を伝送する伝送手段と、伝送手段により伝送された光を分光する分光手段と、分光された光を受光する光検出器アレイと、からなり、前記レーザ光を微粒子の発光波長外の波長とするとともに、前記光伝送手段の前段にレーザ光の波長の侵入を阻止するフィルターを設けたことを特徴とする微粒子計測装置。

IPC (4件)：

G01N 21/63 , G01N 15/10 , G01N 21/68 , G01N 21/71

FI (4件)：

G01N 21/63 Z , G01N 15/10 A , G01N 21/68 , G01N 21/71

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平2-242149
特開平4-366749
計装用ガス中の懸濁物質分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-286775 出願人：三菱重工業株式会社

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