特許
J-GLOBAL ID：200903061404043298

薬液用圧力センサ

発明者：
太斎 義明

太斎 義明 について


出願人/特許権者：
株式会社鷺宮製作所

株式会社鷺宮製作所 について


代理人 (2件)： 谷 義一 ,  阿部 和夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-188936
公開番号（公開出願番号）：特開2006-010537
出願日： 2004年06月25日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：
【課題】 受圧空間の気密性を維持しつつ熱溶着部分の破壊を防止するとともに、受圧ダイヤフラムからの透過ガス量を減らし、圧力センサの寿命を延ばし、さらに受圧ダイヤフラムの構造的変形や残留応力をなくし、特性の良い、且つ信頼性の高い薬液用圧力センサを提供する。【解決手段】 圧力エレメントと、該圧力エレメントをその内部に支持するケースと、前記圧力エレメントに対向する上面に形成され、圧力エレメントに圧力を伝える受圧ダイヤフラム及び該受圧ダイヤフラムに作用する受圧空間を有し、前記上面と反対側の下面に受圧空間が開口している本体部分と、そのフランジ部が前記開口に嵌合し、薬液を受圧空間に導入する圧力導入管とを備える薬液用圧力センサであって、前記本体部分と前記圧力導入管のフランジ部は、気密に溶着され、前記ケースと前記本体部分は、前記圧力エレメントと前記受圧ダイヤフラムとが密着するように連結固定される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
薬液の圧力を検出する圧力エレメントと、 該圧力エレメントをその内部に収容、支持するケースと、 前記圧力エレメントに対向する上面に形成され、前記圧力エレメントに薬液の圧力を伝える受圧ダイヤフラム及び該受圧ダイヤフラムに作用する受圧空間を有する本体部分であって、前記受圧ダイヤフラムが形成されている上面と反対側の下面に前記受圧空間が開口している本体部分と、 そのフランジ部が前記開口に嵌合し、薬液を前記受圧空間に導入する圧力導入管と、 を備え、 前記本体部分と前記圧力導入管のフランジ部は、気密に溶着され、 前記ケースと前記本体部分は、前記圧力エレメントと前記受圧ダイヤフラムとが密着するように連結固定されることを特徴とする薬液用圧力センサ。
IPC (1件)：
G01L 19/06
FI (1件)：
G01L19/06 A
Fターム (8件)：
2F055AA31 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD11 ,  2F055EE25 ,  2F055FF38 ,  2F055GG25 ,  2F055HH08
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 圧力センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-169357   出願人：長野計器株式会社
  • 特許第3410711号公報
  • 特許第2552093号公報
審査官引用 (5件)
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