特許
J-GLOBAL ID：200903061467663474

積層体の製造方法及び製造装置

発明者：
越後 紀康

越後 紀康 について

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本田 和義

本田 和義 について

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小田桐 優

小田桐 優 について

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砂流 伸樹

砂流 伸樹 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 池内 寛幸 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-131578
公開番号（公開出願番号）：特開2001-313228
出願日： 2000年04月28日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：
【要約】【課題】 支持体上で、樹脂層を形成する工程とパターニング材料付与後金属薄膜層を形成する工程とを繰り返して積層体を製造する方法において、積層体中にパターニング材料が残存せず、かつ金属薄膜層を良好にパターニングできる方法を提供する。【解決手段】 パターニング材料を付与して金属薄膜層を形成後、パターニング材料の付与位置にレーザ光を照射して残存するパターニング材料を除去する。レーザ光はパターニング材料のみを選択的に加熱して除去することができ、金属薄膜層や樹脂層に悪影響を与えない。
請求項（抜粋）：
樹脂層を形成する工程と、パターニング材料を付与した後に金属材料を真空プロセスにより堆積させてマージン部を有する金属薄膜層を積層する工程とを有し、これらを周回する支持体上で行なうことにより前記支持体上に樹脂層と金属薄膜層とを含む積層体を製造する方法であって、更に、前記金属薄膜層を積層する工程の後に前記マージン部にレーザ光を照射して前記パターニング材料を除去する工程を有することを特徴とする積層体の製造方法。
IPC (5件)：
H01G 4/30 311 ,  B05D 3/06 ,  B05D 3/10 ,  H01G 4/33 ,  H01G 13/00 391
FI (5件)：
H01G 4/30 311 F ,  B05D 3/06 Z ,  B05D 3/10 E ,  H01G 13/00 391 J ,  H01G 4/06 102
Fターム (40件)：
4D075BB20Z ,  4D075BB48Z ,  4D075BB85Y ,  4D075DC18 ,  5E082AA01 ,  5E082AB03 ,  5E082BC36 ,  5E082BC38 ,  5E082EE05 ,  5E082EE24 ,  5E082EE38 ,  5E082FG03 ,  5E082FG34 ,  5E082FG42 ,  5E082FG54 ,  5E082FG56 ,  5E082GG10 ,  5E082GG11 ,  5E082GG26 ,  5E082GG27 ,  5E082GG28 ,  5E082HH25 ,  5E082HH26 ,  5E082HH47 ,  5E082JJ03 ,  5E082JJ05 ,  5E082JJ12 ,  5E082JJ21 ,  5E082JJ22 ,  5E082JJ23 ,  5E082LL01 ,  5E082LL02 ,  5E082LL03 ,  5E082MM05 ,  5E082MM06 ,  5E082MM11 ,  5E082MM22 ,  5E082MM23 ,  5E082MM24 ,  5E082PP09
引用特許：
審査官引用 (3件)

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