流量レギュレータをもった静電チャック

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-189664
公開番号（公開出願番号）：特開平9-129715
出願日： 1996年07月18日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】基板、特に基板の周縁部、にわたってほぼ一様な温度を維持することのできる温度制御システムを有し、耐食性が改良され且つ故障率が減少する静電チャックを提供する。【解決手段】静電部材35の電極40への電圧の印加により、基板30がコンフォーマル接触面50上に保持され、伝熱流体が漏れ出すリーク部115、及び伝熱流体が実質的に漏れ出さないシール部を有する外周部が画成される。静電部材35の導管105を通して異なる流量の伝熱流体を流すための流量レギュレータ35が設けられ、チャック20上に保持された基板30にわたってほぼ一様な温度を維持するために、(i)静電部材35の外周部110のシール部近傍の導管を通る第1の伝熱流体流量、及び(ii)リーク部115近傍の導管105を通る第1流量より大きな第2の伝熱流体流量を供給している。

請求項（抜粋）：

処理チャンバ内で基板を保持し、且つ、基板をほぼ一様な温度に維持するための静電チャックであって、(a)i)電極を覆う絶縁体、ii)前記基板に適合可能なほぼ平らな(planar)コンフォーマル接触面(conformal contact surface)、及びiii)前記接触面で終端する、伝熱流体を前記接触面に供給するための導管(conduits)、を含む静電部材であって、前記静電部材の前記電極への電圧の印加により、前記コンフォーマル接触面上に前記基板を保持して、(1)伝熱流体が漏れ出すリーク部、及び(2)伝熱流体が漏れ出さないシール部を持つ外周部を画成する静電部材と、(b)前記静電部材の前記導管を通して異なる流量(flow rate)の伝熱流体を流すための流量レギュレータであって、前記静電チャック上に保持される前記基板をほぼ一様な温度に維持すべく、(i)前記静電部材の前記外周部の前記シール部近傍の前記導管を通る第1の伝熱流体の流量、及び(ii)前記リーク部近傍の前記導管を通る、前記第1の流量より大きな第2の伝熱流体の流量を与える流量レギュレータと、を備える、静電チャック。

引用特許：

審査官引用 (5件)

静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-354709 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
高密度プラズマに使用可能な静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-302845 出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-039938 出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド

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