特許
J-GLOBAL ID:200903061531972834
画面の線欠陥検出方法及び装置並びに画像データの補正方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐々木 宗治 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-365905
公開番号(公開出願番号):特開2003-168103
出願日: 2001年11月30日
公開日(公表日): 2003年06月13日
要約:
【要約】【課題】 撮像時における検査対象とカメラ撮像素子面とのアライメント調整を不要とし、正常な長方形画像を作成可能にし、またエッジ付近の低コントラストな線欠陥までも検出可能とする。【解決手段】 検査対象10の画面全体を撮像する撮像手段20、撮像による取込画像のノイズを除去するノイズ除去部32、取込画像の中から検査対象画面に対応する被検査部画像を抽出する被検査部抽出部34、被検査部画像を幾何学的変形により長方形画像として再構成する被検査部再構成部35、長方形画像のシェーディング補正を行う画像データ補正部36、補正後の画像の輝度値を水平・垂直方向にそれぞれ積算する欠陥抽出部37、及び水平・垂直方向の各積算値をしきい値と比較することにより線欠陥を検出する欠陥判定部38を有する構成。
請求項(抜粋):
検査対象の画面全体を撮像する工程と、撮像により取り込んだ取込画像のノイズを除去する工程と、前記取込画像の中から前記検査対象の画面に対応する被検査部画像を抽出する工程と、前記被検査部画像を幾何学的変形により長方形画像として再構成する工程と、前記長方形画像のシェーディング補正を行う工程と、シェーディング補正後の画像の輝度値を水平方向及び垂直方向にそれぞれ積算する工程と、前記水平方向及び垂直方向の各積算値をあらかじめ定められたしきい値と比較することにより、線欠陥を検出する工程と、を有することを特徴とする画面の線欠陥検出方法。
IPC (6件):
G06T 1/00 300
, G06T 1/00 460
, G01M 11/00
, G01N 21/958
, G06T 3/00 200
, H04N 17/04
FI (6件):
G06T 1/00 300
, G06T 1/00 460 D
, G01M 11/00 T
, G01N 21/958
, G06T 3/00 200
, H04N 17/04 C
Fターム (31件):
2G051AA73
, 2G051AB02
, 2G051CA04
, 2G051EA25
, 2G051ED08
, 2G051ED11
, 2G086EE10
, 5B047AA11
, 5B047BB04
, 5B047CB23
, 5B047DA04
, 5B047DC04
, 5B047DC07
, 5B057AA01
, 5B057CA08
, 5B057CA12
, 5B057CB08
, 5B057CB12
, 5B057CB16
, 5B057CD12
, 5B057CE02
, 5B057CE05
, 5B057CE06
, 5B057CE11
, 5B057DA03
, 5B057DA08
, 5C061BB03
, 5C061CC05
, 5C061EE05
, 5C061EE09
, 5C061EE11
引用特許:
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