特許

J-GLOBAL ID：200903061534000426

積層型圧電セラミックス構造体及びその製造方法

発明者： 西宮 幸雄 ,  川上 祥広 ,  相澤 周二
出願人/特許権者： NECトーキン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-301453
公開番号（公開出願番号）：特開2006-114745
出願日： 2004年10月15日
公開日（公表日）： 2006年04月27日
要約：

【課題】 基板材料として、安価なステンレス金属材料の使用が可能で、かつ、圧電特性が優れたPZT厚膜を有する、積層型圧電セラミックス構造体及びその製造方法を得る。【解決手段】 ステンレス金属基板1の上に、中間層を介して積層型圧電セラミックス層が形成された積層型圧電セラミックス構造体であって、前記中間層は、ステンレス金属基板1側に材質がニッケル層2と積層型圧電セラミック側には、材質が銅3との複合体である積層型圧電セラミックス構造体とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ステンレス金属基板の上に、中間層を介して積層型圧電セラミックス層が形成された積層型圧電セラミックス構造体において、前記中間層は、ステンレス金属基板側に材質がニッケルの金属層と、積層型圧電セラミック側には、材質が銅の金属層との複合体であることを特徴とする積層型圧電セラミックス構造体。

IPC (7件)：

H01L 41/22 ,  C04B 35/49 ,  C23C 28/00 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/24

FI (8件)：

H01L41/22 Z ,  C04B35/49 A ,  C23C28/00 B ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 M ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 A

Fターム (29件)：

4G031AA04 ,  4G031AA05 ,  4G031AA11 ,  4G031AA12 ,  4G031AA19 ,  4G031AA28 ,  4G031AA32 ,  4G031BA10 ,  4G031CA07 ,  4G031CA08 ,  4G031GA02 ,  4G031GA06 ,  4G031GA08 ,  4G031GA10 ,  4K044AA03 ,  4K044AB02 ,  4K044BA06 ,  4K044BA10 ,  4K044BA12 ,  4K044BB04 ,  4K044BB11 ,  4K044BC02 ,  4K044BC14 ,  4K044CA13 ,  4K044CA14 ,  4K044CA23 ,  4K044CA29 ,  4K044CA51 ,  4K044CA53

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 複合構造物及びその製造方法並びに作製装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-002663   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所, 東陶機器株式会社

審査官引用 (4件)

• 薄膜型圧電センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-352567   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所
• 圧電アクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-130246   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
• ホ ゚ンフ ゚部材及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-142323   出願人：東陶機器株式会社
• 圧電体装置の製造方法、及びそれを用いた超音波モータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-000494   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社