特許

J-GLOBAL ID：200903061548208020

Mg蒸発材料の加工方法

発明者： 倉内 利春 ,  箱守 宗人 ,  内田 一也 ,  三沢 俊司
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 北村 欣一 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-007880
公開番号（公開出願番号）：特開2001-192814
出願日： 2000年01月17日
公開日（公表日）： 2001年07月17日
要約：

【要約】【課題】ダストの発生を防止し得るMg蒸発材料の加工方法を提供する。【解決手段】Mgの押出し原料を熱間押出して線材とし、これを適当な長さに切断して得たMgペレットをMg蒸発材料として密封状態に梱包する加工方法に於いて、該熱間押出し及び切断、表面層の除去を乾燥窒素やアルゴンの不活性ガス雰囲気中で行い、その切断後ただちに梱包する。梱包時に梱包容器中を脱気して乾燥窒素を封入する。梱包されたMgペレットを開梱して蒸発源に供給するに先立ち、該Mgペレットを水を使わない化学研磨液により表面研磨してその表面の酸化膜の厚さを低減する。化学研磨液に高純度のアセトンを使用し、表面研磨後にジクロロメタンの蒸気でMgペレットを乾燥させる。

請求項（抜粋）：

Mgの押出し原料を熱間押出して線材とし、これを適当な長さに切断して得たMgペレットをMg蒸発材料として密封状態に梱包する加工方法に於いて、該熱間押出し及び切断を乾燥窒素やアルゴンの不活性ガス雰囲気中で行い、その切断後ただちに梱包することを特徴とするMg蒸発材料の加工方法。

IPC (7件)：

C23C 14/24 ,  C22C 23/00 ,  C22F 1/06 ,  C22F 1/00 612 ,  C22F 1/00 613 ,  C22F 1/00 625 ,  C22F 1/00 694

FI (7件)：

C23C 14/24 E ,  C22C 23/00 ,  C22F 1/06 ,  C22F 1/00 612 ,  C22F 1/00 613 ,  C22F 1/00 625 ,  C22F 1/00 694 Z

引用特許：

出願人引用 (3件)

• Mgの蒸発方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-094333   出願人：日新製鋼株式会社
• 反応性スパッタリング用ターゲット材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-255386   出願人：日本軽金属株式会社
• 真空蒸着めっき方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-176116   出願人：株式会社神戸製鋼所