特許
J-GLOBAL ID：200903061573644357
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-353954
公開番号（公開出願番号）：特開2004-184859
出願日： 2002年12月05日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：
【課題】波長193nm以下での透明性、溶解コントラスト、解像度に優れた化学増幅型レジストとして好適な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】組成物は、(A)酸の作用によりアルカリ可溶性となる酸解離性基含有樹脂、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)式(1)もしくは式(2)の化合物および/または式(3)もしくは式(4)の繰り返し単位を有する重合体を含有する。【化1】【化2】〔Xは水素原子、トリフルオロメチル基、式(i)の基等を示し、式(1)および式(2)ではXの少なくとも1つが式(i)の基であり、pおよびqは0〜2。【化3】(Rf1は水素原子、メチル基、トリフルオロメチル基を示し、Yは単結合、メチレン基、シクロヘキシレン基、フェニレン基を示し、Zは水素原子、酸解離性有機基を示し、zは0〜3、rは0〜1。)〕【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(A)アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、酸の作用によりアルカリ可溶性となる樹脂、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)(C1)下記一般式(1)で表される化合物および下記一般式(2)で表される化合物の群から選ばれる少なくとも1種および/または(C2)下記一般式(3)で表される繰り返し単位を有するポリケトンおよび下記一般式(4)で表される繰り返し単位を有するポリスピロケタールの群から選ばれる少なくとも1種を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F7/039
, G03F7/004
, G03F7/075
, H01L21/027
G03F7/039 601
, G03F7/004 501
, G03F7/075 521
, H01L21/30 502R
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA04
, 2H025AB16
, 2H025AC04
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CB08
, 2H025CB41
, 2H025FA17
