感放射線性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福沢俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-352621
公開番号（公開出願番号）：特開平10-111569
出願日： 1996年12月16日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：

【要約】【課題】化学増幅型レジストとして、特に放射線に対する透明性およびドライエッチング耐性が優れ、しかも基板接着性、感度、解像度、現像性等にも優れたレジストパターンを与える感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、(A)主鎖に脂環式骨格を有する樹脂と、(B)感放射線性酸発生剤とを含有する。

請求項（抜粋）：

(A)主鎖に脂環式骨格を有する樹脂と、(B)放射線の照射により酸を発生する感放射線性酸発生剤とを含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (9件)

α,β-不飽和ニトリルを有する脂環式多環族とメタクリレート誘導体との共重合体
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-173129 出願人：富士通株式会社
ポジ型感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-098671 出願人：富士写真フイルム株式会社
ポジ型放射線レジストとレジストパターンの形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-099967 出願人：富士通株式会社

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