特許
J-GLOBAL ID：200903061626239077
溶液の製造方法、重合体溶液およびレジスト組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 青山 正和
, 鈴木 三義
, 西 和哉
, 村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-214848
公開番号（公開出願番号）：特開2008-038035
出願日： 2006年08月07日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：
【課題】溶液を濃縮する工程を経て目標の濃度の溶液を製造する方法において、目標の濃度の溶液を確実に得ることができる溶液の製造方法、目的とする用途において設計通りの性能を発揮できる重合体溶液、およびレジスト膜に設計通りの性能を発揮させることができるレジスト組成物を提供する。【解決手段】溶液を濃縮する工程を経て目標とする濃度の溶液を製造する方法において、溶液を目標の濃度よりも高い濃度まで濃縮して過剰濃縮液とし、過剰濃縮液の濃度を測定し、過剰濃縮液を目標の濃度の溶液とするために必要な希釈溶媒の添加量を求め、該添加量の希釈溶媒を過剰濃縮液に加え、目標の濃度の溶液を得る。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
溶液を濃縮する工程を経て目標の濃度の溶液を製造する方法において、
溶液を目標の濃度よりも高い濃度まで濃縮して過剰濃縮液とし、
過剰濃縮液の濃度を測定し、過剰濃縮液を目標の濃度の溶液とするために必要な希釈溶媒の添加量を求め、
該添加量の希釈溶媒を過剰濃縮液に加え、目標の濃度の溶液を得ることを特徴とする溶液の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (23件)：
2H096BA11
, 2H096LA30
, 4F070AA07
, 4F070AA08
, 4F070AA12
, 4F070AA18
, 4F070AA22
, 4F070AA23
, 4F070AA25
, 4F070AA32
, 4F070AA46
, 4F070AA47
, 4F070AB17
, 4F070AB22
, 4F070AC32
, 4F070AC36
, 4F070AC38
, 4F070AC39
, 4F070AC43
, 4F070AC64
, 4F070AE28
, 4F070CA20
, 4F070CB11
出願人引用 (3件)
審査官引用 (5件)
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