プローブユニット及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：服部雅紀 , 吉田大
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-190963
公開番号（公開出願番号）：特開2006-010605
出願日： 2004年06月29日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：

【課題】適切な接触圧で検体と確実に導通させることができ、導線の電気抵抗を小さくできるプローブユニット、及びその製造方法を提供する。【解決手段】基板と、前記基板上に形成され、前記基板の縁部から突出し検体の電極に接触する先端部と前記先端部よりも厚い厚肉部とを有する導線と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に形成され、前記基板の縁部から突出し検体の電極に接触する先端部と前記先端部よりも厚い厚肉部とを有する導線と、を備えることを特徴とするプローブユニット。

IPC (2件)：

G01R 1/073 , H01L 21/66

FI (2件)：

G01R1/073 F , H01L21/66 B

Fターム (10件)：

2G011AA15 , 2G011AB01 , 2G011AB06 , 2G011AB08 , 2G011AC09 , 2G011AC14 , 2G011AC32 , 2G011AF07 , 4M106BA01 , 4M106DD03

引用特許：

出願人引用 (2件)

審査官引用 (3件)

前のページに戻る