特許
J-GLOBAL ID:200903061699819519
近接場赤外顕微分光用ナノプローブ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
坂口 信昭
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-074793
公開番号(公開出願番号):特開2004-279359
出願日: 2003年03月19日
公開日(公表日): 2004年10月07日
要約:
【課題】開口径の制約を受けることなく、サブミクロンから数ナノメートルオーダーの赤外分光法が可能である近接場ナノプローブを提供する。【解決手段】(1)近接場赤外顕微分光用ナノプローブにおいて、試料表面に最も近接或いは接触するナノプローブ本体の先端部に、微粒子金属膜を有すること、(2)近接場赤外顕微分光用ナノプローブにおいて、波長(λ)を2μm〜15μmの範囲の赤外領域波長とした場合に、ナノプローブ本体の先端に、直径λ/10以上の大きさの開口部を有し、更にその開口部の少なくとも中央部分に、該開口部の直径に対し、λ/150〜λ/50の大きさの直径で微粒子金属膜を有することを特徴とする近接場赤外顕微分光用ナノプローブである。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
近接場赤外顕微分光用ナノプローブにおいて、試料表面に最も近接或いは接触するナノプローブ本体の先端部に、微粒子金属膜を有することを特徴とする近接場赤外顕微分光用ナノプローブ。
IPC (4件):
G01N13/14
, G01N21/27
, G01N21/35
, G12B21/06
FI (5件):
G01N13/14 B
, G01N21/27 C
, G01N21/27 E
, G01N21/35 Z
, G12B1/00 601C
Fターム (8件):
2G059DD13
, 2G059EE02
, 2G059EE10
, 2G059FF03
, 2G059HH01
, 2G059JJ17
, 2G059JJ22
, 2G059KK01
引用特許:
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