近接場光学用プローブ

発明者： , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：岩橋祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-154029
公開番号（公開出願番号）：特開2001-027597
出願日： 1999年06月01日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
要約：

【要約】【課題】本発明は、試料の表面形状の把握と共に、その成分等の解析も行うために、所望の波長域における分光分析も適正に行うことのできる近接場光学用プローブを提供することを目的とする。【解決手段】赤外透過性の良好な材質からなる光ファイバの先端部を先鋭化したテーパ化コア44と、該テーパ化コア44の表面に、該テーパ化コア44の先端部を除いて形成されたマスク46と、を備え、該マスク46から外部へ露出した該テーパ化コア44の先端部48より、赤外域における、入射光を測定試料に照射、ないし該測定試料からの散乱近接場光を捕捉可能なことを特徴とする赤外近接場光学用プローブ22。

請求項（抜粋）：

赤外透過性の良好な材質からなる光ファイバの先端部を先鋭化したテーパ化コアと、前記テーパ化コアの表面に、該テーパ化コアの先端部を除いて形成されたマスクと、を備え、前記マスクから外部へ露出した前記テーパ化コアの先端部より、赤外域における、入射光を測定試料に照射、ないし該測定試料からの散乱近接場光を捕捉可能なことを特徴とする赤外近接場光学用プローブ。

IPC (2件)：

G01N 13/14 , G01B 7/34

FI (2件)：

G01N 37/00 E , G01B 7/34 Z

Fターム (10件)：

2F063AA43 , 2F063CA09 , 2F063DA01 , 2F063DB01 , 2F063EA16 , 2F063EA20 , 2F063EB05 , 2F063EB23 , 2F063EB27 , 2F063JA02

引用特許：

審査官引用 (11件)

走査型近視野光学顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-056585 出願人：セイコー電子工業株式会社
フォトン走査トンネル顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-029819 出願人：日本分光株式会社
フォトン走査トンネル顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-029818 出願人：日本分光株式会社

全件表示

引用文献：

審査官引用 (2件)

前のページに戻る