特許
J-GLOBAL ID:200903061701009465

薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三反崎 泰司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-180300
公開番号(公開出願番号):特開2001-014609
出願日: 1999年06月25日
公開日(公表日): 2001年01月19日
要約:
【要約】【課題】 磁極幅を縮小化した場合においても、磁極幅の正確な制御を可能にすると共に、十分なオーバーライト特性が得られる薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 上部磁極17をヨーク部17a(幅W4)、中間部17b(幅W1)、17c(幅W2)および先端部17d(W3)から成る構成とし、各連結部には幅方向の段差を設け、かつ各磁性層部分の幅をW3<W2<W1<W4とする。中間部17cと先端部17dとの連結部はほぼ直角とし、またその位置はスロートハイトゼロ位置(TH0位置)に一致させる。これにより、先端部17dを形成するためのフォトレジストのパターン幅の広がりを防止でき、書込トラック幅の狭小化が可能となる。また、十分に大きなヨーク部17aに発生した磁束が中間部17b、17cを経由して段階的に収束することから、先端部17dに到達する前に飽和することを防止でき、十分なオーバーライト特性が確保可能となる。
請求項(抜粋):
磁気的に連結され、かつ記録媒体に対向する側の一部がギャップ層を介して対向する2つの磁極を含む少なくとも2つの磁性層と、これらの少なくとも2つの磁性層の間に絶縁層を介して配設された薄膜コイル部とを有する薄膜磁気ヘッドであって、前記2つの磁性層のうちの少なくとも一方の磁性層は、記録媒体に対向する記録媒体対向面から前記絶縁層における記録媒体に近い側の端縁部またはその近傍にかけて延在し、記録媒体の記録トラックの幅を規定する一定幅を有する第1の磁性層部分と、前記絶縁層の前記端縁部またはその近傍の第1の連結部において、前記第1の磁性層部分と磁気的に連結する第2の磁性層部分と、前記第2の磁性層部分における前記第1の連結部の反対側において、前記第2の磁性層部分と磁気的に連結する第3の磁性層部分とを含み、前記第1の磁性層部分と前記第2の磁性層部分との前記第1の連結部における第1の磁性層部分の幅が、この連結部における第2の磁性層部分の幅よりも小さくなるように、前記第1の連結部に幅方向の段差が形成され、かつ前記第2の磁性層部分と前記第3の磁性層部分との第2の連結部における第2の磁性層部分の幅が、この連結部における第3の磁性層部分の幅よりも小さくなるように、前記第2の連結部に幅方向の段差が形成されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
FI (2件):
G11B 5/31 D ,  G11B 5/31 E
Fターム (5件):
5D033BA08 ,  5D033BA13 ,  5D033BA22 ,  5D033CA02 ,  5D033DA31
引用特許:
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る