特許
J-GLOBAL ID：200903061730696773

ワイヤボンディング方法および装置

発明者：
伊藤 健司

伊藤 健司 について

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黒須 直樹

黒須 直樹 について

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市村 洋太郎

市村 洋太郎 について

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吉田 達仕

吉田 達仕 について


出願人/特許権者：
インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレ-ション

インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレ-ション について


代理人 (1件)： 坂口 博 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-274113
公開番号（公開出願番号）：特開2001-101636
出願日： 1999年09月28日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：
【要約】【課題】 ワイヤの全体の変形量のばらつきを小さくし、ワイヤボンディングの接合強度の信頼性を向上させる。【解決手段】 P1点では、ボンディングウェッジ21がワイヤ71に当接し、ワイヤ71に荷重が加えられる。ワイヤ71は、変形量Aだけ変形し、P2点で変形が止まる。変形量Aは大きくばらつく。P3点(T1)では、超音波振動が加えられ、再び、ワイヤ71の変形が開始される。変形量Aのばらつきが変形量Bにより吸収され、変形量(A+B)のばらつきが小さくなる。P4点(T1+T2)では、変形量(A+B)は略一定に保たれる。このP4点で、ワイヤ71の変形量が0にセットされ、ワイヤ71の変形量の測定が開始され、ワイヤ71の変形量が変形量Cに達するまで(P5点)、荷重および超音波振動が与えられる。
請求項（抜粋）：
ワイヤを接続パッドに接合するワイヤボンディング方法であって、ボンディングウェッジをワイヤに当接させて、ワイヤと接続パッドとの間に所定の荷重を与え、ワイヤを変形させるローディング工程と、ローディング工程でワイヤが変形された後、このボンディングウェッジを介して、前記所定の荷重および所定の超音波振動を所定の時間与える時間管理工程と、時間管理工程における前記所定の時間が経過したとき、前記荷重が与えられる方向に変形するワイヤの変形量を初期値に設定し、この変形量があらかじめ設定された設定値に達するまで、ワイヤの変形量を測定しつつ、ワイヤと接続パッドとの間に前記所定の荷重および前記所定の超音波振動を与える変形量管理工程とを含むことを特徴とするワイヤボンディング方法。
IPC (4件)：
G11B 5/60 ,  B23K 20/10 ,  G11B 21/21 ,  H01L 21/60 301
FI (4件)：
G11B 5/60 P ,  B23K 20/10 ,  G11B 21/21 D ,  H01L 21/60 301 G
Fターム (17件)：
4E067BF00 ,  4E067DC01 ,  4E067DC08 ,  4E067EC13 ,  5D042NA01 ,  5D042PA01 ,  5D042TA07 ,  5D042TA10 ,  5D059AA01 ,  5D059BA01 ,  5D059CA03 ,  5D059DA03 ,  5D059DA09 ,  5D059DA35 ,  5D059DA36 ,  5D059EA03 ,  5F044BB06
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (4件)
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