特許
J-GLOBAL ID：200903061842136509
表示パネル基板の検査方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-092795
公開番号（公開出願番号）：特開平10-268248
出願日： 1997年03月28日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【課題】 手前の基板セット領域でワークテーブルに表示パネル基板を水平状態でセットして、このワークテーブルを、水平面に対して傾斜した検査部に搬送するようにして、検査装置の占有面積を小さくし、基板のセット作業を安定にし、オペレータの作業性を良くする。【解決手段】 基板セット領域42で液晶基板50を水平状態でワークテーブル41にセットする。クランクホルダー84が駆動レール82に沿って上昇すると、ワークテーブル41を保持した搬送体70はθ回転ステージ32の上方に来て、θ回転ステージ32にワークテーブル41を受け渡す。搬送体70は待機位置に移動する。ワークテーブル41を受け取ったθ回転ステージ32はアライメントを実施してから、上昇して、液晶基板50の電極をプローブ装置にコンタクトさせる。オペレータは、液晶基板50に点灯表示されたテストパターンを観察して液晶基板50の良否を判定する。
請求項（抜粋）：
次の構成を備える表示パネル基板の検査装置。(イ)水平面に対して傾斜した検査部であって、プローブ装置とこれに対向する測定ステージとを有する検査部。(ロ)表示パネル基板を載せるための搭載面を有するワークテーブル。(ハ)前記ワークテーブルを前記測定ステージに着脱可能に結合するための結合機構。(ニ)前記検査部の手前かつ下方にある基板セット領域と前記検査部との間で前記ワークテーブルを搬送する搬送機構であって、ワークテーブルが前記基板セット領域にあるときはワークテーブルの搭載面が水平状態になるように構成された搬送機構。
IPC (4件)：
G02F 1/13 101
, G01R 31/00
, G02F 1/1333 500
, G09F 9/00 352
G02F 1/13 101
, G01R 31/00
, G02F 1/1333 500
, G09F 9/00 352
