アクティブマトリックスパネル

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-248729
公開番号（公開出願番号）：特開平8-087025
出願日： 1994年09月16日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：

【要約】【目的】シールド型の補助容量電極を備えたアクティブマトリックス型の液晶表示装置において、開口率を大きくする。【構成】薄膜トランジスタ34のチャネル保護膜40をゲート電極37をマスクとした裏面露光によるセルフアライメントにより形成し、薄膜トランジスタ34をセルフアライメント構造とする。この結果、薄膜トランジスタ34を小型化することができ、これに伴いゲート電極37とソース電極42間の寄生容量を小さくすることができ、そしてその分だけ補助容量電極36と画素電極35の重なり度合を小さくして補助容量を小さくすることができ、したがって開口率を大きくすることができる。

請求項（抜粋）：

マトリックス状に設けられた走査ラインとデータラインの各交点近傍にセルフアライメント構造の薄膜トランジスタ、画素電極及びシールド型の補助容量電極を設けたことを特徴とするアクティブマトリックスパネル。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-260632
薄膜トランジスタおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-318895 出願人：株式会社東芝
液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-245121 出願人：株式会社東芝

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