特許
J-GLOBAL ID：200903061957410353
粒子シミュレーション方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-056393
公開番号（公開出願番号）：特開平9-245018
出願日： 1996年03月13日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 粒子シミュレーションの計算時間及び各種のコンピュータ資源の消費を低減しつつ、安定した結果を得ることである。【解決手段】 粒子の存在確率が低い低確率領域と粒子の存在確率が高い高確率領域との境界を設定し(S206)、低確率領域についてMC法によって粒子の挙動を解析し(S207)、高確率領域について繰り返し法によって粒子の挙動を解析し(S209)、低確率領域の挙動解析によって低確率領域外に遷移した粒子について、粒子からセル分布に変換し、高確率領域の挙動解析によって高確率領域外に遷移した粒子について、セルの分布から粒子に変換し(S211)、デバイス構造の物理量の空間分布を得るようにしてある。
請求項（抜粋）：
粒子の挙動を解析して物理量の空間分布を求めるシミュレーション方法において、粒子の存在確率が低い低確率領域と粒子の存在確率が高い高確率領域との境界を設定し、前記低確率領域についてモンテ・カルロ法によって粒子の挙動を解析し、前記高確率領域について繰り返し法によって粒子の挙動を解析し、前記低確率領域の挙動解析によって前記低確率領域外に遷移した粒子について、粒子からセル分布に変換し、前記高確率領域の挙動解析によって前記高確率領域外に遷移した粒子について、セルの分布から粒子に変換し、前記物理量の空間分布を得ることを特徴とする粒子シミュレーション方法。
IPC (11件)：
G06F 17/00
, H01L 29/00
, H01L 29/78
, H01L 21/336
, H01L 21/8247
, H01L 29/788
, H01L 29/792
, H01L 21/02
, H01L 21/205
, H01L 21/302
, H01L 21/66
G06F 15/20 D
, H01L 29/00
, H01L 21/02 Z
, H01L 21/205
, H01L 21/66 Z
, H01L 29/78 301 Z
, H01L 29/78 371
, H01L 21/302 Z
