特許
J-GLOBAL ID：200903062129994437
3次元マイクロ構造体、その製造方法、及びその製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
川守田 光紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-315033
公開番号（公開出願番号）：特開2008-126370
出願日： 2006年11月22日
公開日（公表日）： 2008年06月05日
要約：
【課題】微小コイルのような3次元微小金属構造体を製造するための技術を実現することを目的し、その発展形態においては、大量生産に適した上記3次元微小金属構造体の製造方法を実現することをも目的とする。【解決手段】繊維状の芯材の表面に微細パターンが形成された鋳型を製造すると共にメッキによりそのパターンに金属を充填し、その後鋳型を除去する。好適な実施形態においては、その鋳型を、表面にレジスト層が形成された繊維状の芯材を、透光性の筒殻に非透光性のマスクパターンが形成された筒状の光リソグラフィ用マスクの筒孔に挿入すると共に、該筒殻の一部又は全部が一括照射されるように筒状マスクの外側からレーザを照射し、その後にレジスト層を現像することにより製造する。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
3次元微小金属構造体を製造する方法であって、繊維状の芯材の表面に微細パターンが形成された鋳型を製造する工程と、メッキにより前記パターンに金属を充填する工程と、前記鋳型を除去する工程とを有する製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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