特許

J-GLOBAL ID：200903062150363579

合成石英ガラスとその評価方法

発明者： 生田 順亮 ,  菊川 信也 ,  増井 暁夫 ,  下平 憲昭
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-249286
公開番号（公開出願番号）：特開2001-072428
出願日： 1999年09月02日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
要約：

【要約】【課題】紫外線を照射した時に生ずる蛍光発光が充分に抑えられたているか否かを、簡便かつ定量的に判定できる合成石英ガラスの評価方法の提供。【解決手段】合成石英ガラスに150〜400nmの波長域にある紫外線を照射し、紫外線照射により合成石英ガラスから生じる散乱光強度と蛍光発光強度とを測定し、散乱光強度に対する蛍光発光強度の比から蛍光発光強度を定量する合成石英ガラスの評価方法。

請求項（抜粋）：

紫外域から真空紫外域までの波長域の光に使用される合成石英ガラスの評価方法であって、合成石英ガラスに150〜400nmの波長域にある紫外線を照射し、紫外線照射により合成石英ガラスから生じる散乱光強度に対する蛍光発光強度の比を求め、その比から蛍光発光強度を評価する合成石英ガラスの評価方法。

IPC (2件)：

C03B 20/00 ,  C03C 3/06

FI (2件)：

C03B 20/00 G ,  C03C 3/06

Fターム (5件)：

4G014AH15 ,  4G062AA04 ,  4G062BB02 ,  4G062CC06 ,  4G062MM02

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 遠紫外線用高純度シリカガラス及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-078141   出願人：信越石英株式会社
• 光学用石英ガラス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-091876   出願人：旭硝子株式会社
• 石英ガラス光学部材の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-091875   出願人：旭硝子株式会社
• 光学用石英ガラスとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-207486   出願人：旭硝子株式会社