特許
J-GLOBAL ID：200903062305827119
圧電薄膜共振子およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 俊則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-364539
公開番号（公開出願番号）：特開2006-174148
出願日： 2004年12月16日
公開日（公表日）： 2006年06月29日
要約：
【課題】 圧電薄膜の配向性を向上し、電気機械結合係数が大きく、音響的品質係数Qが高い、圧電薄膜共振子およびその製造方法を提供する。【解決手段】 基板12と、一対の電極14,15;17と、一対の電極14,15;17に挟まれた圧電薄膜16とを含む。基板12に支持される一方の電極14,15は、第1の導電層14と、第1の導電層14と圧電薄膜16との間に配置され、第1の導電層14より標準単極電位の低い金属からなる極性制御層15とを含む。極性制御層15は、圧電薄膜16側に酸化膜を有する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
基板と、
該基板に沿って配置された一対の電極と、
該一対の電極に挟まれた圧電薄膜とを含み、
前記電極の一方が前記基板に支持され、
少なくとも前記圧電薄膜の前記一対の電極に挟まれた部分が、前記基板から音響的に分離された、圧電薄膜共振子であって、
前記一方の前記電極は、
第1の導電層と、
前記第1の導電層と前記圧電薄膜との間に配置され、前記第1の導電層より標準単極電位の低い金属からなる極性制御層とを含み、
該極性制御層は、前記圧電薄膜側に酸化膜を有することを特徴とする圧電薄膜共振子。
IPC (8件)：
H03H 9/17
, H03H 3/02
, H03H 9/58
, H03H 9/70
, H01L 41/09
, H01L 41/187
, H01L 41/18
, H01L 41/22
H03H9/17 F
, H03H3/02 B
, H03H9/58 A
, H03H9/70
, H01L41/08 C
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101C
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 Z
5J108AA06
, 5J108AA07
, 5J108BB07
, 5J108BB08
, 5J108CC11
, 5J108MM11
, 5J108MM14
