特許

J-GLOBAL ID：200903062382129904

電極内蔵型サセプタ及びその製造方法

発明者： 大塚 剛史 ,  遠藤 和則
出願人/特許権者： 住友大阪セメント株式会社
代理人 (7件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-197970
公開番号（公開出願番号）：特開2004-040000
出願日： 2002年07月05日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：

【課題】高温下の酸化性雰囲気下での耐久性に優れた電極内蔵型サセプタ、及び該電極内蔵型サセプタを歩留まりよく廉価に得ることができる電極内蔵型サセプタの製造方法を提供する。【解決手段】本発明の電極内蔵型サセプタ11は、窒化アルミニウム基焼結体からなる載置板12及び支持板14と、載置板12と支持板14との間に形成され導電性の窒化アルミニウム-窒化タンタル複合焼結体または導電性の窒化アルミニウム-タングステン複合焼結体からなる内部電極15と、支持板14の固定孔13、13に設けられて内部電極15に接合される給電用端子16、16とにより構成され、給電用端子16、16は、導電性の窒化アルミニウム-窒化タンタル複合焼結体により構成されていることを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

一主面が板状試料を載置する載置面とされた窒化アルミニウム基焼結体からなるサセプタ基体と、このサセプタ基体に内蔵された内部電極と、前記サセプタ基体内に設けられて前記内部電極に接合された給電用端子とを備えた電極内蔵型サセプタであって、 前記給電用端子は、導電性の窒化アルミニウム-窒化タンタル複合焼結体からなることを特徴とする電極内蔵型サセプタ。

IPC (4件)：

H01L21/68 ,  H05B3/02 ,  H05B3/10 ,  H05B3/74

FI (4件)：

H01L21/68 N ,  H05B3/02 B ,  H05B3/10 C ,  H05B3/74

Fターム (31件)：

3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QC13 ,  3K092QC18 ,  3K092QC20 ,  3K092QC25 ,  3K092QC38 ,  3K092QC44 ,  3K092QC49 ,  3K092QC58 ,  3K092QC59 ,  3K092QC62 ,  3K092QC66 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092RF17 ,  3K092TT02 ,  3K092TT08 ,  3K092UB02 ,  3K092VV09 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA16 ,  5F031HA37 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031NA05 ,  5F031PA11

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-329336   出願人：京セラ株式会社
• サセプタ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-259589   出願人：住友大阪セメント株式会社
• 静電チャックおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-137065   出願人：住友金属工業株式会社