パルスレーザ装置のパルスエネルギ制御装置と方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-078014
公開番号（公開出願番号）：特開平8-274399
出願日： 1995年04月03日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【目的】高速で精度よくパルスエネルギを1パルス毎に制御可能なパルスエネルギ制御装置を実現することを目的とする。【構成】露光装置(3)から次に必要とされるパルスのパルスエネルギ値がパルスエネルギコントローラ(5)に入力され、パルスエネルギコントローラ(5)はパルスレーザ装置(1)にエネルギ値を指令するとともにアッテネータ(2)を制御し、所定のパルスエネルギのパルスを露光装置(3)に入力させる。

請求項（抜粋）：

パルスレーザ装置の出力エネルギを制御するパルスレーザ装置のパルスエネルギ制御装置において、パルス毎に必要なパルスエネルギの値を設定するパルスエネルギ設定手段と、前記パルスレーザ装置の出力側に設けられ、出力光の透過率を可変することにより出力光のエネルギを減光する可変減光手段と、前記パルスレーザ装置の出力パルスエネルギの予測値を計算するパルスエネルギ予測手段と、前記パルスエネルギ設定手段の設定値と前記パルスエネルギ予測手段で計算した出力パルスエネルギの予測値とから前記可変減光手段での透過率を計算する透過率計算手段と、前記可変減光手段の透過率を前記透過率計算手段の計算値と一致するよう制御する透過率制御手段とを具備することを特徴とするパルスレーザ装置のパルスエネルギ制御装置。

IPC (5件)：

H01S 3/104 , G02B 26/02 , H01L 21/027 , H01S 3/102 , H01S 3/225

FI (7件)：

H01S 3/104 , G02B 26/02 B , H01S 3/102 , H01L 21/30 515 B , H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 515 C , H01S 3/223 E

引用特許：

審査官引用 (8件)

露光量制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-088330 出願人：株式会社ニコン
特開平4-025830
特開昭63-190333

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