テープ搬送用ドラム装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：村上友一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-116069
公開番号（公開出願番号）：特開2000-309457
出願日： 1999年04月23日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：

【要約】【課題】孔あるいはスリットを有するテープを確実にドラムに密着でき、精度良く検査できるようにする。【解決手段】ドラム装置は、静電ドラム46が電圧源によって静電圧を印加されるようになっている。静電ドラム46に印加された電圧は、半導体装置用テープ70を分極し、半導体装置用テープ70を静電ドラム46の周面に吸着して密着させる。

請求項（抜粋）：

回転するドラムの周面にテープを巻き付けて搬送するテープ搬送用ドラム装置であって、前記ドラムは電圧を印加されて前記テープを静電気力によって外周面に密着させることを特徴とするテープ搬送用ドラム装置。

IPC (2件)：

B65H 20/02 , H01L 21/60 311

FI (2件)：

B65H 20/02 Z , H01L 21/60 311 W

Fターム (4件)：

3F103AA03 , 3F103BA01 , 3F103EA09 , 5F044MM00

引用特許：

審査官引用 (4件)

感材搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-128708 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
シート材搬送装置およびテープ電線製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-104962 出願人：株式会社フジクラ
異物検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-023155 出願人：ミノルタ株式会社

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