特許
J-GLOBAL ID：200903062840541917
粘着性材料の転写装置および転写方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-053226
公開番号（公開出願番号）：特開平11-251729
出願日： 1998年03月05日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：
【要約】【課題】 転写ミスを防止することができる粘着性材料の転写装置および転写方法を提供することを目的とする。【解決手段】 吸着ツール9に保持された導電性ボール10またはバンプ付き電子部品を粘着性材料が塗布された塗布部2に下降させてクリーム半田5に浸漬することによりクリーム半田5を転写する粘着性材料の転写方法であって、導電性ボール10またはバンプ付き電子部品をクリーム半田5に浸漬した後上昇させる際に導電性ボール10やバンプをクリーム半田5に対して相対的に振動させる。また上昇開始時の上昇速度を低速に設定しその後高速に切換える。これによりクリーム半田5の粘着力を低下させることができるので、導電性ボール10やバンプ付き電子部品がクリーム半田5に把えられて吸着ツール9から脱落するのを防止することができる。
請求項（抜粋）：
粘着性材料を所定厚に塗布する塗布部と、粘着性材料が転写される導電性ボールまたはバンプ付き電子部品を吸着する吸着ツールと、この吸着ツールを上下動させる上下動手段と、上下動手段の速度を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする粘着性材料の転写装置。
IPC (3件)：
H05K 3/34 505
, H01L 23/12
, H01L 21/60
H05K 3/34 505 A
, H01L 23/12 L
, H01L 21/92 604 F
, H01L 21/92 604 Z
