薄膜微小機械式共振子ジャイロの製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-107616
公開番号（公開出願番号）：特開2003-302222
出願日： 2002年04月10日
公開日（公表日）： 2003年10月24日
要約：

【要約】【課題】生産性の高い薄膜微小機械式共振子ジャイロの製造方法を提供することを目的とするものである。【解決手段】薄膜微小機械式共振子ジャイロの製造方法において、ウエハ1の主面2の上に形成した複数の薄膜微小機械式共振子ジャイロの圧電薄膜5,6,7,8を一括で分極することにより生産性を著しく高めることができる。

請求項（抜粋）：

非圧電材料からなるウエハの主面上に形成する複数の音叉を少なくとも覆うように下部電極を形成する工程と、この下部電極上に圧電薄膜を形成する工程と、この圧電薄膜をパターンニングして複数の圧電薄膜に形成する工程と、上記下部電極上および複数の圧電薄膜上に絶縁膜を形成する工程と、上記複数の圧電薄膜上にパターンニングして所定部分の絶縁膜を除去する工程と、上記複数の圧電薄膜上および絶縁膜上に金属層を形成する工程と、この金属層をパターンニングして複数の上部電極と引き出し配線および引き出し電極を形成する工程と、上記複数の圧電薄膜を一括分極する工程と、上記複数の音叉を互いに分離して個片にする工程からなる薄膜微小機械式共振子ジャイロの製造方法。

IPC (5件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08 , H01L 41/09 , H01L 41/22

FI (5件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/22 Z , H01L 41/08 C , H01L 41/08 D

Fターム (8件)：

2F105AA02 , 2F105AA03 , 2F105AA06 , 2F105AA08 , 2F105BB15 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD06

引用特許：

審査官引用 (7件)

角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-149450 出願人：株式会社村田製作所
特開平3-227107
圧電薄膜振動子
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-248764 出願人：株式会社村田製作所

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