特許
J-GLOBAL ID：200903062902098241

走査透過型電子顕微鏡

発明者：
橋本 隆仁

橋本 隆仁 について

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市橋 幹雄

市橋 幹雄 について

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砂子沢 成人

砂子沢 成人 について

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佐藤 雄司

佐藤 雄司 について

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中村 邦康

中村 邦康 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-202858
公開番号（公開出願番号）：特開2000-021346
出願日： 1998年07月03日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：
【要約】【課題】 走査透過型電子顕微鏡において電子源の明るさの変動による像の劣化を防止する。【解決手段】 試料2を透過した透過電子3を検出する明視野像検出手段10と、試料2で散乱された散乱電子4を検出する暗視野像検出手段11とを備え、除算器14において明視野像検出手段の出力信号と暗視野像検出手段の出力信号のいずれか一方を他方で除算した信号を用いて画像を形成する。
請求項（抜粋）：
明視野像検出手段と、暗視野像検出手段とを含む走査透過型電子顕微鏡において、前記明視野像検出手段の出力信号と前記暗視野像検出手段の出力信号のいずれか一方を他方で除算した信号を用いて画像を形成することを特徴とする走査透過型電子顕微鏡。
IPC (2件)：
H01J 37/22 502 ,  H01J 37/22 501
FI (2件)：
H01J 37/22 502 H ,  H01J 37/22 501 Z
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (7件)
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