特許
J-GLOBAL ID：200903062918314610
静電チャック用給電端子
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宇高 克己 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-376654
公開番号（公開出願番号）：特開2003-179127
出願日： 2001年12月11日
公開日（公表日）： 2003年06月27日
要約：
【要約】【課題】 静電チャックの基体が導電性を有する金属-セラミックス複合材料から構成されたものであっても、基体との間で絶縁破壊による放電現象が発生することがなく、静電チャックに、こうした不具合に起因した性能低下が起きない静電チャック用給電端子を提供することである。【解決手段】 金属-セラミックス複合材料から構成された基体11と、この基体11の一主面上に設けられた絶縁層12と、この絶縁層12の上に設けられた電極13と、この電極13を被覆するよう設けられた誘電層14と、を備えてなる静電チャックにおける基体11に形成された孔11aに納まり、電極13への給電に用いられる静電チャック用給電端子であって、一端側が電極13に接続される金属製の本体部1と、少なくとも本体部1の周面を被覆するようその周囲に設けられたセラミックス製の外被部2とを具備してなる静電チャック用給電端子。
請求項（抜粋）：
金属-セラミックス複合材料から構成された基体と、この基体の一主面上に設けられた絶縁層と、この絶縁層の上に設けられた電極と、この電極を被覆するよう設けられた誘電層と、を備えてなる静電チャックにおける前記基体に形成された孔に納まり、前記電極への給電に用いられる静電チャック用給電端子であって、一端側が前記電極に接続される金属製の本体部と、少なくとも前記本体部の周面を被覆するよう前記本体部の周囲に設けられたセラミックス製の外被部とを具備してなることを特徴とする静電チャック用給電端子。
Fターム (9件)：
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031CA09
, 5F031HA02
, 5F031HA03
, 5F031HA17
, 5F031HA19
, 5F031NA05
, 5F031PA30
