特許
J-GLOBAL ID：200903063015180312
レーザ描画装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-052360
公開番号（公開出願番号）：特開平8-248641
出願日： 1995年03月13日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、光の回折限界以下の微細パターンを描画することができるレーザ描画装置を提供する。【構成】 本発明に係るレーザ描画装置は、レーザ光を発するレーザ光源1と、このレーザ光源1からのレーザ光の波長より小さな開口部を設けた光ファイバー5と、この光ファイバー5の開口部から射出されるレーザ光を被描画材11に対して走査する走査手段とを有するものである。
請求項（抜粋）：
レーザ光を発する光源と、この光源からのレーザ光の波長より小さな開口部を設けた導光手段と、この導光手段の開口部から射出されるレーザ光を被描画材に対して走査する走査手段とを有することを特徴とするレーザ描画装置。
IPC (3件)：
G03F 7/20 505
, G02B 27/09
, G11B 7/135
G03F 7/20 505
, G11B 7/135 Z
, G02B 27/00 E
