特許
J-GLOBAL ID：200903063057596608

プローブカード及びプローブカード製造方法

発明者：
小嶋 昭夫

小嶋 昭夫 について


出願人/特許権者：
株式会社アドバンテスト

株式会社アドバンテスト について


代理人 (1件)： 龍華 明裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-109977
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304770
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：
【要約】【課題】 基板上にプローブ針を接合する際の針位置精度を高め、かつ、非伝送線路の短縮により信号の質を高めたプローブカードを提供する。【解決手段】 複数の第一伝送線路60a、bを有するプリント基板30と、複数の第一伝送線路60a、bの各々に接合する複数の第二伝送線路62a、bを有し、プリント基板30に重ね合わされるビルドアップ基板40と、複数の第二伝送線路62a、bの各々に接合し、プローブテスト対象となる電気部品の電極の各々に接触させる複数のプローブ針50a、bとを備える。
請求項（抜粋）：
電気部品の電極に接触し、前記電気部品の特性を試験するために用いられるプローブカードであって、複数の第一伝送線路を有するプリント基板と、複数の前記第一伝送線路の各々に接合する複数の第二伝送線路を有し、前記プリント基板に重ね合わされるビルドアップ基板と、複数の前記第二伝送線路の各々に接合し、前記電極の各々に接触させる複数のプローブ針とを備えることを特徴とするプローブカード。
IPC (3件)：
G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66
FI (3件)：
G01R 1/073 E ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B
Fターム (17件)：
2G003AA07 ,  2G003AB01 ,  2G003AG03 ,  2G003AG08 ,  2G003AG12 ,  2G011AA02 ,  2G011AA17 ,  2G011AC14 ,  2G011AE22 ,  2G011AF07 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD03 ,  4M106DD10 ,  4M106DD11 ,  4M106DD15
引用特許：
審査官引用 (5件)
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