特許
J-GLOBAL ID：200903063095130353

ツインワイヤーアークスプレーコーティングの施用のための方法及び装置

発明者：
ジョン・ギルバート・ディーム

ジョン・ギルバート・ディーム について

, 
ロバート・マニュエル・コイン

ロバート・マニュエル・コイン について


出願人/特許権者：
ザ・ビーオーシー・グループ・インコーポレーテッド

ザ・ビーオーシー・グループ・インコーポレーテッド について


代理人 (6件)： 社本 一夫 ,  小野 新次郎 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  平山 晃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-206196
公開番号（公開出願番号）：特開2007-105721
出願日： 2006年07月28日
公開日（公表日）： 2007年04月26日
要約：
【課題】ツインワイヤーアークスプレーの複合コーティングを施用して、予め決められた特徴を有する基板に対して表面効果を達成するための方法及び装置を提供する。【解決手段】堆積チャンバ部品の基板にツインワイヤーアークスプレーコーティング装置56を用いて複合コーティングを行う。部品のコーティング、ノズル流及び基板の組成を調節することで、コーティング表面は、第一の接着コーティングよりも粗い第二のトップコーティング層を形成する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
加工チャンバー部品の基板表面をコーティングするための方法であって、次の各工程: 基板表面を有する加工チャンバー部品の基板を提供し; コーティングを施用するためのツインワイヤーアークスプレーコーティング装置を提供し;そして、 複合のツインワイヤーアークスプレーコーティングを該基板表面に施用する工程を含み、ここで、前記複合コーティングは、該基板表面上に第一の接着コーティング(前記第一のコーティングは、第一のコーティングの粗さ値を有する)と、該第一の接着コーティング上に第二のトップコーティング(前記第二のトップコーティングは、該第一の接着コーティングの粗さ値より大きい第二のトップコーティングの粗さ値を有する)とを含む、前記方法。
IPC (6件)：
B05D 1/08 ,  B05D 1/36 ,  B05B 7/22 ,  C23C 4/06 ,  C23C 4/12 ,  B32B 15/08
FI (6件)：
B05D1/08 ,  B05D1/36 B ,  B05B7/22 ,  C23C4/06 ,  C23C4/12 ,  B32B15/08 G
Fターム (54件)：
4D075AA18 ,  4D075BB92Z ,  4D075DA06 ,  4D075DB07 ,  4D075DB14 ,  4D075EB01 ,  4F033QA01 ,  4F033QB02Y ,  4F033QB04 ,  4F033QB12Y ,  4F033QB13Y ,  4F033QB19 ,  4F033QD02 ,  4F033QG02 ,  4F033QG05 ,  4F033QG23 ,  4F100AB01A ,  4F100AB03A ,  4F100AB10A ,  4F100AB10B ,  4F100AB10C ,  4F100AB16B ,  4F100AB16C ,  4F100AB20B ,  4F100AB20C ,  4F100AB31B ,  4F100AB31C ,  4F100AD00A ,  4F100AR00B ,  4F100AR00C ,  4F100AT00A ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100DD07B ,  4F100DD07C ,  4F100EH46B ,  4F100EH46C ,  4F100EH56B ,  4F100EH56C ,  4F100GB41 ,  4F100JK06B ,  4F100JK06C ,  4F100JK15B ,  4F100JK15C ,  4F100JL02 ,  4F100YY00B ,  4F100YY00C ,  4K031AA04 ,  4K031CB33 ,  4K031CB36 ,  4K031CB37 ,  4K031DA03
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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